アルミニウムチタン(AlTi)スパッタリングターゲット
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アルミニウム チタン(アルティ)合金スパッタリングターゲットはHIP技術によって製造され、ツールコーティングや装飾コーティングに広く使用されています。溶融技術と比較して、HIP技術によって製造されたTiAlターゲットは、より均一な微細内部構造、より小さな粒径を持ち、さまざまなマグネトロンスパッタリングマシンやスパッタリングマシンに適しています 。イオンプレーティング装置。エンドユーザーは、PVDプロセス中に一定の浸食速度と高純度で均質な薄膜コーティングを得ることができます 。

AlTi 薄膜でコーティングされた工具は、より高い送り速度、より優れた切削性能、より長い耐用年数を備え、高い金属除去率を容易に達成できます。

アルミニウム チタン スパッタリング ターゲットおよびアーク陰極は、金茶色および茶色がかった黒色のフィルムを得るために装飾コーティングにも使用されます。エンドユーザーは、変色することなく、良好な硬度、高輝度、耐腐食性、耐酸化性の色を長期間得ることができます。当社のターゲットは、時計、衛生用品、車のミラーなどのメーカーを含む多くのエンドユーザーによってすでに認定されています。 

新康は、装飾およびツールコーティング用のAlTi25/75at%、AlTi30/70at%、AlTi33/67at%、AlTi40/60at%、AlTi50/50at%、AlTi70/30at%のターゲットおよびカソードを生産しています。 当社の製造プロセスの柔軟性により、当社のコーティング材料の微細構造を調整して、望ましい効果を達成することができます。 スパッタリングターゲットの粒子が均一に整列していれば、ユーザーは一定の浸食速度と均質な層の恩恵を受けることができます。

以下の写真は、当社のチタン アルミニウム (70/30 at%) スパッタリング ターゲット、平均粒径 100μm の 2 枚の顕微鏡写真です。


以下は、3N チタン アルミニウム (70/30 at%) スパッタリング ターゲットの一般的な分析証明書です。




利用可能な構成:

AlTi25/75at%スパッタリングターゲット

AlTi30/70at%スパッタリングターゲット

AlTi33/67at%スパッタリングターゲット

AlTi40/60at%スパッタリングターゲット

AlTi50/50at%スパッタリングターゲット

AlTi70/30at%スパッタリングターゲット

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